新式固态激光器可产生 193 纳米光，用于精密芯片制造，致使产生具有轨说念角动量的涡旋光束——这是初次不错调动量子工夫和制造业的后果。深紫外 (DUV) 激光器放射波长极短的高能光，在半导体制造、高分辨率光谱、精密材料加工和量子工夫等界限进展着弥留作用。与传统的准分子或气体放电激光器比较91 探花，深紫外激光器具有更好的关系性和更低的功耗，因此不错构建更小、更高效的系统。

紧凑型深紫外固体激光器在 193 nm 波长下产生涡旋。图片起头：H. Xuan（中国科学院空天信息辩论院大湾分袂院）

在最近发表在《Advanced Photonics Nexus》上的一项辩论中，中国科学院的辩论东说念主员文书了一项要害冲破：一种紧凑型固态激光系统，不错产生波长为 193 纳米的关系光。这种特定波长是光刻工夫的要津器用，光刻工夫用于在硅晶片上蚀刻高超图案，而硅晶片关于制造当代电子诞生至关弥留。

新的激光系统以 6 kHz 的换取率开动，并使用定制的 Yb:YAG 晶体放大器产生 1030 nm 的基本激光。该激光分为两条旅途：一条通过四次谐波生成挪动为 258 nm 光束，输出功率为 1.2 瓦；另一条为光学参量放大器供电，产生 1553 nm 光束，功率为 700 毫瓦。然后使用级联三硼酸锂 (LBO) 晶体将这两束光束组合在一皆，产生忖度打算 193 nm 光，平均输出功率为 70 毫瓦，线宽低于 880 MHz。

辩论东说念主员还在混频前将螺旋相位板引入 1553 纳米光束，从而产生佩戴轨说念角动量的涡旋光束。这是初次从固态激光器产生 193 纳米涡旋光束。这种光束有望成为搀和 ArF 准分子激光器的种子，并可能在晶圆加工、残障检测、量子通讯和光学微操作方面有要害诓骗。

这种立异的激光系统不仅进步了半导体光刻的遵守和精度，还为先进制造工夫设备了新途径。产生 193 纳米涡旋光束的智商可能导致该界限的进一步冲破，有可能透彻调动电子诞生的坐褥样貌。

编译自/ScitechDaily91 探花